|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Manufacturing of nanostructures with high aspect ratios using soft UV-nanoimprint lithography with bi- and trilayer resist systems |
| Auteur: |
Handte, Thomas Scheller, Nicolas Dittrich, Lars Thesen, Manuel W. Messerschmidt, Martin Sinzinger, Stefan |
| Verschenen in: |
Micro and nano engineering |
| Paginering: | Jaargang 14 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |