|
Anisotropic and low damage III-V/Ge heterostructure etching for multijunction solar cell fabrication with passivated sidewalls |
|
|
|
Titel: |
Anisotropic and low damage III-V/Ge heterostructure etching for multijunction solar cell fabrication with passivated sidewalls |
Auteur: |
de Lafontaine, Mathieu Pargon, Erwine Gay, Guillaume Petit-Etienne, Camille David, Sylvain Barnes, Jean-Paul Rochat, Névine Jaouad, Abdelatif Volatier, Maïté Fafard, Simon Aimez, Vincent Darnon, Maxime |
Verschenen in: |
Micro and nano engineering |
Paginering: |
Jaargang 11 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
The Authors |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|