|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 28 van 66 gevonden artikelen
| Titel: |
High-fidelity patterning of AlN and ScAlN thin films with wet chemical etching |
| Auteur: |
Airola, Konsta Mertin, Stefan Likonen, Jari Hartikainen, Enni Mizohata, Kenichiro Dekker, James Thanniyil Sebastian, Abhilash Pensala, Tuomas |
| Verschenen in: |
Materialia |
| Paginering: | Jaargang 22 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 28 van 66 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |