|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 26 van 60 gevonden artikelen
| Titel: |
Gas phase chemical thermodynamics calculation as a first step for understanding of non-stoichiometric HfOx formation mechanism in ALD |
| Auteur: |
Litvinova, K.I. Polomskikh, V.S. Shibalova, A.A. Goryachev, A.V. Rudakov, G.A. |
| Verschenen in: |
Materials today nano |
| Paginering: | Jaargang 29 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2025 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 26 van 60 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |