|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 71 van 259 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of 2-phosphonobutane-1,2,4-tricarboxylic acid (PBTCA) on Cu/Ta chemical mechanical planarization (CMP) in the barrier layer: A novel complexing agent and the dual role on Cu |
| Auteur: |
Meng, Ni Zhang, Xianglong Xie, Shunfan Li, Xianghui Nie, Shenao Qiu, Yuxuan Wei, Ying Li, Junfeng Meng, Ruhao He, Yangang |
| Verschenen in: |
Surfaces and interfaces |
| Paginering: | Jaargang 46 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 71 van 259 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |