Details van artikel 168 van 259 gevonden artikelen
New class of Zr precursor containing boratabenzene ligand enabling highly conformal wafer-scale zirconium dioxide thin films through atomic layer deposition
Titel:
New class of Zr precursor containing boratabenzene ligand enabling highly conformal wafer-scale zirconium dioxide thin films through atomic layer deposition
Auteur:
Ansari, Mohd Zahid Janicek, Petr NamGung, Sook Kim, Hyangil Nandi, Dip K. Cheon, Taehoon Siddiqui, Masoom Raza Imran, Muhammad Jang, Yujin Bae, Jong-Seong Hong, Tae Eun Park, Chaehyun Son, Yeseul Kim, Sang Bok Kimj, Soo-Hyun
Verschenen in:
Surfaces and interfaces
Paginering:
Jaargang 46 () nr. C pagina's p.
Jaar:
2024
Inhoud:
Uitgever:
Elsevier B.V.
Bronbestand:
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
Details van artikel 168 van 259 gevonden artikelen