|
Potassium hydroxide surface modification for low temperature Cu/SiO2 hybrid bonding |
|
|
|
Titel: |
Potassium hydroxide surface modification for low temperature Cu/SiO2 hybrid bonding |
Auteur: |
Ong, Jia-Juen Tran, Dinh-Phuc Chiu, Wei-Lan Yang, Shih-Chi Yu, Min-Hsun Shen, Fang-Chun Chang, Hsiang-Hung Lee, Ou-Hsiang Chiang, Chia-Wen Wang, Chin-Hung Wu, Wen-Wei Chen, Chih |
Verschenen in: |
Surfaces and interfaces |
Paginering: |
Jaargang 40 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2023 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|