Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 29 van 148 gevonden artikelen
 
 
  Effect of substrate temperature on properties of AlN buffer layer grown by remote plasma ALD
 
 
Titel: Effect of substrate temperature on properties of AlN buffer layer grown by remote plasma ALD
Auteur: Zhang, Xiao-Ying
Peng, Duan-Chen
Han, Jing
Ren, Fang-Bin
Jiang, Shi-Cong
Tseng, Ming-Chun
Ruan, Yu-Jiao
Zuo, Juan
Wu, Wan-Yu
Wuu, Dong-Sing
Huang, Chien-Jung
Lien, Shui-Yang
Zhu, Wen-Zhang
Verschenen in: Surfaces and interfaces
Paginering: Jaargang 36 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2023
Inhoud:
Uitgever: Published by Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 29 van 148 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland