|
Surface reaction mechanism of atomic layer deposition of titanium nitride using Tetrakis(dimethylamino)titanium and ammonia |
|
|
|
Titel: |
Surface reaction mechanism of atomic layer deposition of titanium nitride using Tetrakis(dimethylamino)titanium and ammonia |
Auteur: |
Zhu, Yuanyuan Zhou, Zhongchao Zhang, Xu Xu, Rui Wang, Yongjia Xu, Lina Xiao, Hongping Li, Xinhua Li, Aidong Fang, Guoyong |
Verschenen in: |
Surfaces and interfaces |
Paginering: |
Jaargang 36 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2023 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|