|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 65 van 109 gevonden artikelen
| Titel: |
Low temperature silicon nitride grown by very high frequency (VHF, 162MHz) plasma enhanced atomic layer deposition with floating multi-tile electrode |
| Auteur: |
Ji, You Jin Kim, Hae In Kim, Ki Hyun Kang, Ji Eun Kim, Doo San Kim, Ki Seok Ellingboe, A.R. Kim, Dong Woo Yeom, Geun Young |
| Verschenen in: |
Surfaces and interfaces |
| Paginering: | Jaargang 33 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 65 van 109 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |