|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 14 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
Investigation of nitrogen incorporation into manganese based copper diffusion barrier layers for future interconnect applications |
| Auteur: |
Selvaraju, V. Brady-Boyd, A. O'Connor, R. Hughes, G. Bogan, J. |
| Verschenen in: |
Surfaces and interfaces |
| Paginering: | Jaargang 13 (2018) nr. C pagina's 133-138 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 14 van 27 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |