|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 51 van 78 gevonden artikelen
| Titel: |
Novel deuterated cyclopentadienyl zirconium/hafnium precursors for atomic layer deposition of high-performance ZrO2/HfO2 thin films |
| Auteur: |
Park, Sunwoo Choi, Yoona Park, Sangwook Lee, Hayoon Lee, Kiho Kang, Seokwoo Park, Jongwook Jeon, Woojin |
| Verschenen in: |
Applied materials today |
| Paginering: | Jaargang 40 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 51 van 78 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |