|
Ultralow dielectric cross-linked silica aerogel nanocomposite films for interconnect technology |
|
|
|
Titel: |
Ultralow dielectric cross-linked silica aerogel nanocomposite films for interconnect technology |
Auteur: |
Choi, Haryeong Kim, Taehee Kim, Taeho Moon, Sunil Yoo, SangHyuk Parale, Vinayak G. Dhavale, Rushikesh P. Kang, Keonwook Sohn, Hyunchul Park, Hyung-Ho |
Verschenen in: |
Applied materials today |
Paginering: |
Jaargang 28 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2022 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|