|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 81 van 107 gevonden artikelen
| Titel: |
Optimal Experiment Design for Multi-variable Motion Systems: with Application to a Next-Generation Wafer Stage ⁎ ⁎ This work is part of the research programme VIDI with project number 15698, which is (partly) financed by the Netherlands Organisation for Scientific Research (NWO). |
| Auteur: |
Dirkx, Nic Wijdeven, Jeroen van de Oomen, Tom |
| Verschenen in: |
IFAC-PapersOnLine |
| Paginering: | Jaargang 52 () nr. 15 pagina's 615-620 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 81 van 107 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |