|
Selective spatial atomic layer deposition of Cu, Cu2O, and CuO thin films in the open air: reality or fiction? |
|
|
|
Titel: |
Selective spatial atomic layer deposition of Cu, Cu2O, and CuO thin films in the open air: reality or fiction? |
Auteur: |
Sekkat, A. Weber, M. López-Sánchez, J. Rabat, H. Hong, D. Rubio-Zuazo, J. Bellet, D. Chichignoud, G. Kaminski-Cachopo, A. Muñoz-Rojas, D. |
Verschenen in: |
Materials today chemistry |
Paginering: |
Jaargang 29 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2023 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|