|
From target to film: The crucial role of AZO target grain size in sputtered thin film properties |
|
|
|
Titel: |
From target to film: The crucial role of AZO target grain size in sputtered thin film properties |
Auteur: |
Liang, Xina Liu, Xiaokai Zhang, Wenyu Zhang, Huiyu Zhao, Hetao Zhao, Yongge Yang, Yuanpei Zhang, Jianhang Sun, Benshuang Liu, Yang He, Jilin |
Verschenen in: |
Materials today communications |
Paginering: |
Jaargang 47 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|