|
Surface roughness of aluminum oxide thin films deposited by DC and RF reactive magnetron sputtering |
|
|
|
Titel: |
Surface roughness of aluminum oxide thin films deposited by DC and RF reactive magnetron sputtering |
Auteur: |
Hom-on, Chatpawee Horprathum, Mati Eiamchai, Pitak Limwichean, Sakson Patthanasettakul, Viyapol Nuntawong, Noppadon Chananonnawathorn, Chanunthorn Lertvanithphol, Tossaporn Triroj, Napat Jaroenapibal, Papot |
Verschenen in: |
Materials today: proceedings |
Paginering: |
Jaargang 5 (2018) nr. 7P1 pagina's 15228-15232 |
Jaar: |
2018 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|