|
Development of super-smooth flat silicon mirror substrates using bowl-feed chemical-mechanical polishing |
|
|
|
Titel: |
Development of super-smooth flat silicon mirror substrates using bowl-feed chemical-mechanical polishing |
Auteur: |
Belure, A.R. Biswas, A.K. Raghunathan, D. Rishipal, Bhartiya, S. Singh, Rashmi Rai, S.K. Pawade, R.S. Kamath, M.P. Benerji, N.S. |
Verschenen in: |
Materials today: proceedings |
Paginering: |
Jaargang 26 () nr. P2 pagina's 2260-2264 |
Jaar: |
2020 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|