|
Modeling, fabrication, and structural characterization of thin film ZnO based film bulk acoustic resonator |
|
|
|
Titel: |
Modeling, fabrication, and structural characterization of thin film ZnO based film bulk acoustic resonator |
Auteur: |
Kishor Johar, Arun Sharma, G.K. Kumar, A. Kumar, Hemant Varma, T. Periasamy, C. Agarwal, A. Boolchandani, D. |
Verschenen in: |
Materials today: proceedings |
Paginering: |
Jaargang 46 () nr. P12 pagina's 5716-5721 |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|