|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 58 van 89 gevonden artikelen
| Titel: |
Optimization of the geometry of the reactor inductance coil for reactive-ion etching by modeling in the COMSOL Multiphysics software package |
| Auteur: |
Endiiarova, E.V. Eritsyan, G.S. |
| Verschenen in: |
Materials today: proceedings |
| Paginering: | Jaargang 30 () nr. P3 pagina's 496-500 |
| Jaar: |
2020 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 58 van 89 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |