|
Three-dimensional silicon-integrated capacitor with unprecedented areal capacitance for on-chip energy storage |
|
|
|
Titel: |
Three-dimensional silicon-integrated capacitor with unprecedented areal capacitance for on-chip energy storage |
Auteur: |
Strambini, Lucanos Paghi, Alessandro Mariani, Stefano Sood, Anjali Kalliomäki, Jesse Järvinen, Päivi Toia, Fabrizio Scurati, Mario Morelli, Marco Lamperti, Alessio Barillaro, Giuseppe |
Verschenen in: |
Nano energy |
Paginering: |
Jaargang 68 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2020 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|