|
Improving machinability of single-crystal silicon by cold plasma jet |
|
|
|
Titel: |
Improving machinability of single-crystal silicon by cold plasma jet |
Auteur: |
Liu, Xin Wang, Bingqi Li, Yuheng Zhou, Yuyang Zhang, Jiahao Wang, Ziheng Yan, Jingcan Gu, Xiaolei Yuan, Zizhen Chen, Yang Wang, Shuaishuai Liu, Jiyu |
Verschenen in: |
Journal of manufacturing processes |
Paginering: |
Jaargang 99 () nr. C pagina's 581-591 |
Jaar: |
2023 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
The Society of Manufacturing Engineers |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|