|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 19 van 25 gevonden artikelen
| Titel: |
Nanoimprint lithography for grayscale pattern replication of MEMS mirrors in a 200 mm wafer |
| Auteur: |
Garcia, Inês S. Retolaza, Aritz Ferreira, Carlos Silva, Carlos Aguiam, Diogo E. Alves, Filipe S. Sousa, Patrícia C. Dias, Rosana A. Cabral, Jorge Gaspar, João |
| Verschenen in: |
Journal of manufacturing processes |
| Paginering: | Jaargang 116 () nr. C pagina's 202-209 |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 19 van 25 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |