|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 22 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
Study of doping uniformity of a 200 kV ion implanter by RBS and sheet resistance measurements |
| Auteur: |
Li, Hui Wang, Ze-Song Zhang, Sheng-Jun Pelenovich, Vasiliy O. Ren, Feng Fu, De-Jun Liu, Chuan-Sheng Ai, Zhi-Wei |
| Verschenen in: |
Nuclear science and techniques |
| Paginering: | Jaargang 27 (2016) nr. 3 pagina's 1-5 |
| Jaar: |
2016 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Singapore, Singapore |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 22 van 27 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |