|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 51 gevonden artikelen
| Titel: |
Atomic Layer Deposition Al2O3 Thin Films in Magnetized Radio Frequency Plasma Source |
| Auteur: |
Li, Xingcun Chen, Qiang Sang, Lijun Yang, Lizhen Liu, Zhongwei Wang, Zhenduo |
| Verschenen in: |
Physics procedia |
| Paginering: | Jaargang 18 (2011) nr. C pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 51 gevonden artikelen
| volgende >> |