|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 44 van 72 gevonden artikelen
| Titel: |
Microscopic and data-driven modeling and operation of thermal atomic layer etching of aluminum oxide thin films |
| Auteur: |
Yun, Sungil Tom, Matthew Luo, Junwei Orkoulas, Gerassimos Christofides, Panagiotis D. |
| Verschenen in: |
Transactions of the Institution of Chemical Engineers. Part A, Chemical engineering research & design |
| Paginering: | Jaargang 177 () nr. C pagina's 96-107 |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Institution of Chemical Engineers |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 44 van 72 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |