|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 56 gevonden artikelen
| Titel: |
Adaptive model-based feedforward to compensate Lorentz force variation of voice coil motor for the fine stage of lithographic equipment |
| Auteur: |
Wang, Xi Yang, Bintang Zhu, Yu |
| Verschenen in: |
Optik |
| Paginering: | Jaargang 135 () nr. C pagina's 27-35 |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier GmbH |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 56 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |