|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 163 van 244 gevonden artikelen
| Titel: |
Optimization of current distribution coefficients to decouple the 6-DOF fine stage of lithographic equipment |
| Auteur: |
Wang, Xi Yang, Bin Tang Zhu, Yu |
| Verschenen in: |
Optik |
| Paginering: | Jaargang 127 () nr. 20 pagina's 9896-9904 |
| Jaar: |
2016 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier GmbH |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 163 van 244 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |