|
Reflective phase shift measurement of the Mo/Si multilayer mirror in extreme ultraviolet region |
|
|
|
Titel: |
Reflective phase shift measurement of the Mo/Si multilayer mirror in extreme ultraviolet region |
Auteur: |
Wang, Fengli Liu, Lei Duan, Wei Jiang, Li Li, Wenbin Wang, Zhanshan Zhu, Jingtao Zhang, Zhong Chen, Lingyan Zhou, Hongjun Huo, Tonglin |
Verschenen in: |
Optik |
Paginering: |
Jaargang 124 (2013) nr. 21 pagina's 4 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier GmbH |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|