|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 24 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
Receptor Modeling for Contaminant Particle Source Apportionment in Clean Rooms |
| Auteur: |
Tian, Yi Biswas, Pratim Pratsinis, Sotiris E. Wu, Jin Jwang |
| Verschenen in: |
Aerosol science and technology |
| Paginering: | Jaargang 12 (1990) nr. 4 pagina's 805-812 |
| Jaar: |
1990 |
| Inhoud: |
Receptor modeling is used to apportion the contaminant particle concentrations among their sources in clean rooms through particle number concentration balances at various size intervals. The technique is demonstrated with optical particle counter data from an IBM clean room and a clean room at the University of Cincinnati. Quantitative contributions of two particulate sources to the aerosol concentration near wafer fabricating units were determined in both clean rooms. Good agreement was obtained between measured and predicted size distributions of the aerosol at the receptor sites. |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 24 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |