|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 120 gevonden artikelen
| Titel: |
A Modified Bosch Process of SF6/C4F8/O2 ICP-RIE Si Etching |
| Auteur: |
Wang, Yi Chen, Luhua Zeng, Xiangzhe Song, Jinhui |
| Verschenen in: |
Journal of materials engineering and performance |
| Paginering: | Jaargang 34 () nr. 16 pagina's 17472-17478 |
| Jaar: |
2024-12-05 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 120 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |