|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 24 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication of micromechanical devices from polysilicon films with smooth surfaces |
| Auteur: |
Guckel, H. Sniegowski, J.J. Christenson, T.R. Mohney, S. Kelly, T.F. |
| Verschenen in: |
Sensors and actuators |
| Paginering: | Jaargang 20 (1989) nr. 1-2 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
1989 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Sequoia |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 24 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |