|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 75 gevonden artikelen
| Titel: |
Characteristics of Crack-Free Silicon Nitride Films Deposited by LPCVD for Photonic Applications |
| Auteur: |
Li, Donghao Li, Bin Tang, Bo Zhang, Peng Yang, Yan Liu, Ruonan Xie, Ling Li, Zhihua |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 50 () nr. 12 pagina's 6862-6869 |
| Jaar: |
2021-09-29 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 75 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |