|
Optical Properties of TiO2 Films Deposited by Reactive Electron Beam Sputtering |
|
|
|
Titel: |
Optical Properties of TiO2 Films Deposited by Reactive Electron Beam Sputtering |
Auteur: |
Kruchinin, V. N. Perevalov, T. V. Atuchin, V. V. Gritsenko, V. A. Komonov, A. I. Korolkov, I. V. Pokrovsky, L. D. Shih, Cheng Wei Chin, Albert |
Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
Paginering: |
Jaargang 46 (2017) nr. 10 pagina's 6089-6095 |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|