|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 12 gevonden artikelen
| Titel: |
Etching of 10Boron with SF6-based Electron Cyclotron Resonance Plasmas for Pillar-Structured Thermal Neutron Detectors |
| Auteur: |
Voss, L. F. Reinhardt, C. E. Graff, R. T. Conway, A. M. Nikolić, R. J. Deo, N. Cheung, C. L. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 39 (2010) nr. 3 pagina's 263-267 |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 12 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |