|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 13 gevonden artikelen
| Titel: |
Low-Dimensional Waveguide Grating Fabrication in GaN with Use of SiCl4/Cl2/Ar-Based Inductively Coupled Plasma Dry Etching |
| Auteur: |
Dylewicz, R. Patela, S. Hogg, R. A. Fry, P. W. Parbrook, P. J. Airey, R. Tahraoui, A. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 38 (2009) nr. 5 pagina's 635-639 |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 13 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |