|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Microwave annealing for ultra-shallow junction formation |
| Auteur: |
Kohli, P. Ganguly, S. Kirichenko, T. Li, H. -J. Banerjee, S. Graetz, E. Shevelev, M. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 31 () nr. 3 pagina's 214-219 |
| Jaar: |
2002-04-02 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |