|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Characterization of sputtered Ta-C-N film in the Cu/barrier/Si contact system |
| Auteur: |
Wang, Shui Jinn Tsai, Hao Yi Sun, S. C. Shiao, M. H. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 30 () nr. 8 pagina's 917-924 |
| Jaar: |
2007-06-21 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |