|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 18 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
The effect of carrier gas and H(hfac) on MOCVD Cu films using (hfac)Cu(1,5-COD) as a precursor |
| Auteur: |
Lee, W. H. Ko, Y. K. Choi, J. H. Byun, I. J. Kwak, H. T. Kim, D. H. Rhee, S. W. Reucroft, P. J. Lee, J. G. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 30 () nr. 8 pagina's 1028-1034 |
| Jaar: |
2007-06-21 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 18 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |