|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
Amorphous Ta-nanocrystalline RuOx diffusion barrier for lower electrode of high density memory devices |
| Auteur: |
Yoon, Dong-Soo Baik, Hong Koo Lee, Sung-Man Roh, Jae Sung |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 30 () nr. 5 pagina's 493-502 |
| Jaar: |
2001-06-22 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |