|
Synthesis and characterization of porous polymeric low dielectric constant films |
|
|
|
Titel: |
Synthesis and characterization of porous polymeric low dielectric constant films |
Auteur: |
Xu, Yuhuan Zheng, D. W. Tsai, Yipin Tu, K. N. Zhao, Bin Liu, Q. Z. Brongo, Maureen Ong, Chung Wo Choy, Chung Loong Sheng, George T. T. Tung, C. H. |
Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
Paginering: |
Jaargang 30 () nr. 4 pagina's 309-313 |
Jaar: |
2001-06-22 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|