|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 25 gevonden artikelen
| Titel: |
Anomalous scaling effect of tungsten/titanium nitride/titanium to silicon electrical contact resistance for subquarter micron microelectronic devices |
| Auteur: |
Choy, Jun-Ho Kim, Young-Soo Hwang, Tae-Keun Kim, Yeong-Cheol Lee, Duk-Hee Choi, Jin-Tae Park, Kwon-Shik Han, Sang Beom |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 30 (2001) nr. 12 pagina's 1609-1615 |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 25 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |