|
Dry-etch fabrication of reduced area InGaAs/InP DHBT devices for high speed circuit applications |
|
|
|
Titel: |
Dry-etch fabrication of reduced area InGaAs/InP DHBT devices for high speed circuit applications |
Auteur: |
Kopf, R. F. Hamm, R. A. Wang, Y. -C. Ryan, R. W. Tate, A. Melendes, M. A. Pullela, R. Chen, Y. -K. Thevin, J. |
Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
Paginering: |
Jaargang 29 () nr. 2 pagina's 222-224 |
Jaar: |
2000-04-03 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|