|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 23 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
The removal of deformed submicron particles from silicon wafers by spin rinse and megasonics |
| Auteur: |
Zhang, Fan Busnaina, Ahmed A. Fury, Michael A. Wang, Shi-Qing |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 29 () nr. 2 pagina's xx |
| Jaar: |
2000-04-03 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 23 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |