|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 30 gevonden artikelen
| Titel: |
Low temperature annealing behaviors of the titanium films formed by the ionized sputtering process on (001) silicon substrates |
| Auteur: |
Kim, Eun-Ha Ko, Dae-Hong Choi, Siyoung Yoo, Bong-Young Lee, Hyeon-Deok |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 28 () nr. 10 pagina's L20-L23 |
| Jaar: |
1999-04-03 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 30 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |