|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 11 gevonden artikelen
| Titel: |
Inductively coupled plasma etching of InGaP, AllnP, and AlGaP in Cl2 and BCl3 chemistries |
| Auteur: |
Hong, J. Lambers, E. S. Abernathy, C. R. Pearton, S. J. Shul, R. J. Hobson, W. S. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 27 (1998) nr. 3 pagina's 132-137 |
| Jaar: |
1998 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 11 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |