|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Chemical-Mechanical polishing of parylene- n films: evaluation by X-Ray photoelectron spectroscopy and atomic force microscopy |
| Auteur: |
Yang, G. -R. Zhao, Y. -P. Neirynck, Jan M. Murarka, Shyam P. Gutmann, Ronald J. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 26 (1997) nr. 8 pagina's 935-940 |
| Jaar: |
1997 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 16 gevonden artikelen
| volgende >> |