|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 28 gevonden artikelen
| Titel: |
Effects of aluminum sputtering process parameters on via step coverage in micro-electronic device manufacturing |
| Auteur: |
Depinto, G. Dunnigan, S. Schwechel, K. Mishra, B. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 26 () nr. 4 pagina's 376-382 |
| Jaar: |
1997-06-14 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 28 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |