|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 27 van 42 gevonden artikelen
| Titel: |
Improvement of the crystallinity of 3C-SiC films by lowering the electron temperatures in the afterglow plasma region using triode plasma CVD |
| Auteur: |
Yasui, K. Ninagawa, N. Akahane, T. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 26 (1997) nr. 3 pagina's 178-182 |
| Jaar: |
1997 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 27 van 42 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |