|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Gallium arsenide surface chemistry and surface damage in a chlorine high density plasma etch process |
| Auteur: |
Eddy, C. R. Glembocki, O. J. Leonhardt, D. Shamamian, V. A. Holm, R. T. Thoms, B. D. Butler, J. E. Pang, S. W. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 26 (1997) nr. 11 pagina's 1320-1325 |
| Jaar: |
1997 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |